滬公網(wǎng)安備 31011502019128號
上海市2022年度“科技創(chuàng)新行動計劃”集成電路領(lǐng)域項目申報指南的通知
滬科指南〔2022〕19號
各有關(guān)單位：
為深入實施創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展戰(zhàn)略，加快建設(shè)具有全球影響力的科技創(chuàng)新中心，根據(jù)《上海市建設(shè)具有全球影響力的科技創(chuàng)新中心“十四五”規(guī)劃》，上海市科學技術(shù)委員會特發(fā)布2022年度“科技創(chuàng)新行動計劃”集成電路領(lǐng)域項目申報指南。
一、征集范圍
專題一、前沿技術(shù)研究
方向1：關(guān)鍵裝備零部件與材料
研究內(nèi)容（1）：集成電路工藝檢測設(shè)備用超寬光譜光源研制
執(zhí)行期限：2022年8月1日至2024年7月31日。
經(jīng)費額度：非定額資助，擬支持不超過1個項目，每項資助額度不超過500萬元，企業(yè)自籌經(jīng)費與申請資助經(jīng)費的比例不低于2:1。
研究內(nèi)容（2）：面向化合物半導體工藝的分子束外延設(shè)備核心部件研制
執(zhí)行期限：2022年8月1日至2024年7月31日。
經(jīng)費額度：非定額資助，擬支持不超過1個項目，每項資助額度不超過500萬元，企業(yè)自籌經(jīng)費與申請資助經(jīng)費的比例不低于2:1。
研究內(nèi)容（3）：芯片先進封裝用高導熱石墨烯強化界面散熱材料研發(fā)
執(zhí)行期限：2022年8月1日至2024年7月31日。
經(jīng)費額度：非定額資助，擬支持不超過1個項目，每項資助額度不超過500萬元，企業(yè)自籌經(jīng)費與申請資助經(jīng)費的比例不低于2:1。
專題二、顛覆性技術(shù)研究
方向1：新材料、新器件、新方法
研究內(nèi)容（1）：并行探針陣列電子束光刻關(guān)鍵技術(shù)研究
執(zhí)行期限：2022年8月1日至2024年7月31日。
經(jīng)費額度：非定額資助，擬支持不超過1個項目，每項資助額度不超過500萬元，企業(yè)自籌經(jīng)費與申請資助經(jīng)費的比例不低于1:1。
研究內(nèi)容（2）：基于有機無機雜化金屬氧化物的EUV光刻膠干法制備關(guān)鍵技術(shù)研究
執(zhí)行期限：2022年8月1日至2024年7月31日。
經(jīng)費額度：非定額資助，擬支持不超過1個項目，每項資助額度不超過500萬元，企業(yè)自籌經(jīng)費與申請資助經(jīng)費的比例不低于1:1。
研究內(nèi)容（3）：叉板式（ForkSheet）場效應(yīng)晶體管關(guān)鍵技術(shù)研究
執(zhí)行期限：2022年8月1日至2024年7月31日。
經(jīng)費額度：非定額資助，擬支持不超過1個項目，每項資助額度不超過500萬元，企業(yè)自籌經(jīng)費與申請資助經(jīng)費的比例不低于1:1。
研究內(nèi)容（4）：基于先進CMOS工藝的新型SOI晶體管關(guān)鍵技術(shù)研究
執(zhí)行期限：2022年8月1日至2024年7月31日。
經(jīng)費額度：非定額資助，擬支持不超過1個項目，每項資助額度不超過500萬元，企業(yè)自籌經(jīng)費與申請資助經(jīng)費的比例不低于1:1。
研究內(nèi)容（5）：新型柔性存算一體器件技術(shù)研究
執(zhí)行期限：2022年8月1日至2024年7月31日。
經(jīng)費額度：非定額資助，擬支持不超過1個項目，每項資助額度不超過500萬元，企業(yè)自籌經(jīng)費與申請資助經(jīng)費的比例不低于1:1。
研究內(nèi)容（6）：面向適用于低功耗、高帶寬需求的多芯片集成技術(shù)研究
執(zhí)行期限：2022年8月1日至2024年7月31日。
經(jīng)費額度：非定額資助，擬支持不超過1個項目，每項資助額度不超過500萬元，企業(yè)自籌經(jīng)費與申請資助經(jīng)費的比例不低于1:1。
二、申報要求
除滿足前述相應(yīng)條件外，還須遵循以下要求：
1.項目申報單位應(yīng)當是注冊在本市的法人或非法人組織，具有組織項目實施的相應(yīng)能力。
2.研究內(nèi)容已經(jīng)獲得財政資金支持的，不得重復(fù)申報。
3.所有申報單位和項目參與人應(yīng)遵守科研倫理準則，遵守人類遺傳資源管理相關(guān)法規(guī)和病原微生物實驗室生物安全管理相關(guān)規(guī)定，符合科研誠信管理要求。項目負責人應(yīng)承諾所提交材料真實性，申報單位應(yīng)當對申請人的申請資格負責，并對申請材料的真實性和完整性進行審核，不得提交有涉密內(nèi)容的項目申請。
4.申報項目若提出回避專家申請的，須在提交項目可行性方案的同時，上傳由申報單位出具公函提出回避專家名單與理由。
5.已作為項目負責人承擔市科委科技計劃在研項目2項及以上者，不得作為項目負責人申報。
6.項目經(jīng)費預(yù)算編制應(yīng)當真實、合理，符合市科委科技計劃項目經(jīng)費管理的有關(guān)要求。
三、申報方式
1.項目申報采用網(wǎng)上申報方式，無需送交紙質(zhì)材料。申請人通過“中國上?！遍T戶網(wǎng)站（http://www.sh.gov.cn）--政務(wù)服務(wù)--點擊“上海市財政科技投入信息管理平臺”進入申報頁面，或者直接通過域名http://czkj.sheic.org.cn/進入申報頁面：
【初次填寫】使用“一網(wǎng)通辦”登錄（如尚未注冊賬號，請先轉(zhuǎn)入“一網(wǎng)通辦”注冊賬號頁面完成注冊），進入申報指南頁面，點擊相應(yīng)的指南專題，進行項目申報；
【繼續(xù)填寫】使用“一網(wǎng)通辦”登錄后，繼續(xù)該項目的填報。
有關(guān)操作可參閱在線幫助。
2.項目網(wǎng)上填報起始時間為2022年7月5日9:00，截止時間（含申報單位網(wǎng)上審核提交）為2022年7月22日16:30。
四、評審方式
采用一輪通訊評審方式。
五、立項公示
上海市科委將向社會公示擬立項項目清單，接受公眾異議。
六、咨詢電話
服務(wù)熱線：021-12345、8008205114（座機）、4008205114（手機）
上海市科學技術(shù)委員會
2022年6月27日
【原文下載】
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